博士論文

High-resolution photoelectron spectroscopy studies of ultrathin Si gate oxides

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High-resolution photoelectron spectroscopy studies of ultrathin Si gate oxides

Call No. (NDL)
UT51-2002-A597
Bibliographic ID of National Diet Library
000000416434
Material type
博士論文
Author
呉鎮浩 [著]
Publisher
[呉鎮浩]
Publication date
2001
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
1冊
Name of awarding university/degree
東京大学,博士 (工学)
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博士論文

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Paper

Material Type
博士論文
Author/Editor
呉鎮浩 [著]
Author Heading
呉, 鎮浩 オ, ジンホ
Publication, Distribution, etc.
Publication Date
2001
Publication Date (W3CDTF)
2001
Extent
1冊
Alternative Title
高分解能光電子分光法を用いた極薄Siゲート酸化膜に関する研究 コウブンカイノウ コウデンシ ブンコウホウ オ モチイタ ゴクウス Si ゲート サンカマク ニ カンスル ケンキュウ
Degree grantor/type
東京大学