高性能・高信頼・低価格ガス供給システム : 特殊ガスによる配管腐食の完全克服と低価格・メンテナンスフリーのガス供給系の実現 Proceedings (超LSIウルトラクリーンテクノロジーワークショップ ; 第26回)

高性能・高信頼・低価格ガス供給システム : 特殊ガスによる配管腐食の完全克服と低価格・メンテナンスフリーのガス供給系の実現 Proceedings

(超LSIウルトラクリーンテクノロジーワークショップ ; 第26回)

Call No. (NDL): ND371-G10
Bibliographic ID of National Diet Library: 000002467106

Material type: 図書

Author: UCS半導体基盤技術研究会編

Publisher: UCS半導体基盤技術研究会

Publication date: 1995.5

Material Format: Paper

Capacity, size, etc.: 139p ; 30cm

NDC: 549.8

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Notes on use

Note (General)：: 期日・会場: 1995年5月19日ホテルイースト21東京

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Paper

Material Type: 図書
Title: 高性能・高信頼・低価格ガス供給システム : 特殊ガスによる配管腐食の完全克服と低価格・メンテナンスフリーのガス供給系の実現 Proceedings
Title Transcription: コウセイノウコウシンライテイカカクガスキョウキュウシステム
Author/Editor: UCS半導体基盤技術研究会編
Series Title: 超LSIウルトラクリーンテクノロジーワークショップ ; 第26回
Author Heading: 半導体基盤技術研究会ハンドウタイキバンギジュツケンキュウカイ ( 00264648 )Authorities
Publication, Distribution, etc.: 東京 : UCS半導体基盤技術研究会
Publication Date: 1995.5
Publication Date (W3CDTF): 1995
Extent: 139p
Size: 30cm
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
Subject Heading: 半導体--会議録ハンドウタイカイギロク ( 00611070 )Authorities
ガス管ガスカン ( 00562266 )Authorities
ガス器具ガスキグ ( 00562268 )Authorities
NDC 8th ed.: 549.8
NDLC: ND371
Target Audience: 一般
Note (General): 期日・会場: 1995年5月19日ホテルイースト21東京
Note (Bibliography): 各章末: 参考文献
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: ND371-G10
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000002467106
http://id.ndl.go.jp/bib/000002467106
National Bibliography No. (JPNO): 96029474
Cataloging Rule: Nippon Cataloging Rules, Preliminary New Edition
Bibliographic Record Category (NDL): 111