腐食性特殊ガスに対する腐食対策と半導体グレード溶接技術 : Proceeding (超LSIウルトラクリーンテクノロジーワークショップ ; 第20回)

腐食性特殊ガスに対する腐食対策と半導体グレード溶接技術 : Proceeding

(超LSIウルトラクリーンテクノロジーワークショップ ; 第20回)

Call No. (NDL): ND371-G9
Bibliographic ID of National Diet Library: 000002467108

Material type: 図書

Author: UCS半導体基盤技術研究会編

Publisher: UCS半導体基盤技術研究会

Publication date: 1992.10

Material Format: Paper

Capacity, size, etc.: 84p ; 30cm

NDC: 549.8

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Notes on use

Note (General)：: 期日・会場: 1992年10月23日 JA (農協) ホール

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Paper

Material Type: 図書
Title: 腐食性特殊ガスに対する腐食対策と半導体グレード溶接技術 : Proceeding
Title Transcription: フショクセイトクシュガスニタイスルフショクタイサクトハンドウタイグレードヨウセツギジュツ
Author/Editor: UCS半導体基盤技術研究会編
Series Title: 超LSIウルトラクリーンテクノロジーワークショップ ; 第20回
Author Heading: 半導体基盤技術研究会ハンドウタイキバンギジュツケンキュウカイ ( 00264648 )Authorities
Publication, Distribution, etc.: 東京 : UCS半導体基盤技術研究会
Publication Date: 1992.10
Publication Date (W3CDTF): 1992
Extent: 84p
Size: 30cm
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
Subject Heading: 半導体--会議録ハンドウタイカイギロク ( 00611070 )Authorities
NDC 8th ed.: 549.8
NDLC: ND371
Target Audience: 一般
Note (General): 期日・会場: 1992年10月23日 JA (農協) ホール
Note (Bibliography): 各章末: 参考文献
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: ND371-G9
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000002467108
http://id.ndl.go.jp/bib/000002467108
National Bibliography No. (JPNO): 96029476
Cataloging Rule: Nippon Cataloging Rules, Preliminary New Edition
Bibliographic Record Category (NDL): 111