半導体製造装置高速通信に関する報告書

半導体製造装置高速通信に関する報告書

Call No. (NDL): ND371-G58
Bibliographic ID of National Diet Library: 000002589761

Material type: 図書

Author: 日本電子工業振興協会編

Publisher: 日本電子工業振興協会

Publication date: 1996.3

Material Format: Paper

Capacity, size, etc.: 75p ; 30cm

NDC: 549.8

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type: 図書
Title: 半導体製造装置高速通信に関する報告書
Title Transcription: ハンドウタイセイゾウソウチコウソクツウシンニカンスルホウコクショ
Author/Editor: 日本電子工業振興協会編
Author Heading: 日本電子工業振興協会ニホンデンシコウギョウシンコウキョウカイ ( 00280783 )Authorities
Publication, Distribution, etc.: 東京 : 日本電子工業振興協会
Publication Date: 1996.3
Publication Date (W3CDTF): 1996
Extent: 75p
Size: 30cm
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
Subject Heading: 半導体製造装置ハンドウタイセイゾウソウチ ( 001237257 )Authorities
NDC 9th ed.: 549.8 : Electronic engineering
NDLC: ND371
Target Audience: 一般
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: ND371-G58
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000002589761
http://id.ndl.go.jp/bib/000002589761
National Bibliography No. (JPNO): 97074322
Cataloging Rule: Nippon Cataloging Rules, Preliminary New Edition
Bibliographic Record Category (NDL): 111