Ein oberflächenmikromechanischer Ein-Chip Dreiachsen Beschleunigungssensor aus Polysilizium

Name of awarding university/degree: Technische Universität Berlin. Fachbereich 11 Maschinenbau und Produktionstechnik

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Note (General)：: Technical University of Berlin. Mechanical and production engineering.

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Material Type: 博士論文
Title: Ein oberflächenmikromechanischer Ein-Chip Dreiachsen Beschleunigungssensor aus Polysilizium
Author/Editor: Beatrice Wenk.
Author Heading: Wenk, Beatrice.
Publication, Distribution, etc.: Berlin : Technische Universität Berlin
Publication Date: 1998.
Extent: 2 Microfiches ( 135 fr.) : negative, ill.
Degree grantor/type: Technische Universität Berlin. Fachbereich 11 Maschinenbau und Produktionstechnik
Date Granted: 1998.
Date Granted (W3CDTF): 1998
Note (Dissertation): 博士論文
Thesis (doctoral) --Technische Universität Berlin, 1998.
Place of Publication (Country Code): DE
Text Language Code: ger
Note (Material Type): [microform]
Note (General): Technical University of Berlin. Mechanical and production engineering.
Note (Bibliography): Includes bibliographies.
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: LS-DIGBE-835
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000003438731
http://id.ndl.go.jp/bib/000003438731
Bibliographic Record Category (NDL): 216