大型電子デバイスプロセス用マイクロ波プラズマ源の開発に関する研究

大型電子デバイスプロセス用マイクロ波プラズマ源の開発に関する研究

Call No. (NDL): UT51-2002-D433
Bibliographic ID of National Diet Library: 000003534865

Material type: 博士論文

Author: 青木克明 [著]

Publisher: [青木克明]

Publication date: [2002]

Material Format: Paper

Capacity, size, etc.: 1冊

Name of awarding university/degree: 明治大学,博士 (工学)

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Note (General)：: 博士論文

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Paper

Material Type: 博士論文
Title: 大型電子デバイスプロセス用マイクロ波プラズマ源の開発に関する研究
Title Transcription: オオガタデンシデバイスプロセスヨウマイクロハプラズマゲンノカイハツニカンスルケンキュウ
Author/Editor: 青木克明 [著]
Author Heading: 青木, 克明アオキ, カツアキ
Publication, Distribution, etc.: [青木克明]
Publication Date: [2002]
Publication Date (W3CDTF): 2002
Extent: 1冊
Degree grantor/type: 明治大学
Date Granted: 平成14年3月26日
Date Granted (W3CDTF): 2002
Dissertation Number: 甲第251号
Degree Type: 博士 (工学)
Note (Dissertation): 博士論文
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
NDLC: UT51
Note (General): 博士論文
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: UT51-2002-D433
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000003534865
http://id.ndl.go.jp/bib/000003534865
Bibliographic Record Category (NDL): 213