Study on fabrication of functional thin films by plasma processing

• Material Type: 博士論文
• Title: Study on fabrication of functional thin films by plasma processing
• Author/Editor: Masahito Ban [著]
• Author Heading: 伴, 雅人 バン, マサヒト
• Publication, Distribution, etc.: [Masahito Ban]
• Publication Date: [2002]
• Publication Date (W3CDTF): 2002
• Extent: 1冊
• Alternative Title: プラズマプロセスによる機能性薄膜の作製に関する研究 プラズマ プロセス ニ ヨル キノウセイ ハクマク ノ サクセイ ニ カンスル ケンキュウ
• Degree grantor/type: 名古屋大学
• Date Granted: 平成14年3月25日
• Date Granted (W3CDTF): 2002
• Dissertation Number: 乙第6035号
• Degree Type: 博士 (工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• Text Language Code: eng
• NDLC: UT51
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-2002-D811
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000003535301; http://id.ndl.go.jp/bib/000003535301
• Bibliographic Record Category (NDL): 213