金属窒化物薄膜の電気,光学特性に及ぼす不定比欠陥の影響と低エネルギー水素イオンインプランテーションの効果

• Material Type: 博士論文
• Title: 金属窒化物薄膜の電気,光学特性に及ぼす不定比欠陥の影響と低エネルギー水素イオンインプランテーションの効果
• Title Transcription: キンゾク チッカブツ ハクマク ノ デンキ コウガク トクセイ ニ オヨボス フテイヒ ケッカン ノ エイキョウ ト テイエネルギー スイソ イオン インプランテーション ノ コウカ
• Author/Editor: 石川努 [著]
• Author Heading: 石川, 努 イシカワ, ツトム
• Publication, Distribution, etc.: [石川努]
• Publication Date: [2002]
• Publication Date (W3CDTF): 2002
• Extent: 1冊
• Degree grantor/type: 九州大学
• Date Granted: 平成14年3月25日
• Date Granted (W3CDTF): 2002
• Dissertation Number: 甲第5928号
• Degree Type: 博士 (工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• Text Language Code: jpn
• NDLC: UT51
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-2002-E718
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000003536021; http://id.ndl.go.jp/bib/000003536021
• Bibliographic Record Category (NDL): 213