博士論文

極低エネルギーイオンビームデポジションによる薄膜形成に関する研究

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極低エネルギーイオンビームデポジションによる薄膜形成に関する研究

Call No. (NDL)
UT51-2002-F663
Bibliographic ID of National Diet Library
000003537291
Material type
博士論文
Author
松本貴士 [著]
Publisher
[松本貴士]
Publication date
[2002]
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
1冊
Name of awarding university/degree
大阪大学,博士 (工学)
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博士論文

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Paper

Material Type
博士論文
Title
極低エネルギーイオンビームデポジションによる薄膜形成に関する研究
Title Transcription
キョクテイ エネルギー イオンビーム デポジション ニ ヨル ハクマク ケイセイ ニ カンスル ケンキュウ
Author/Editor
松本貴士 [著]
Author Heading
松本, 貴士 マツモト, タカシ
Publication, Distribution, etc.
[松本貴士]
Publication Date
[2002]
Publication Date (W3CDTF)
2002
Extent
1冊
Degree grantor/type
大阪大学