パルスバイアスプラズマプロセシングによるDLC薄膜の生成及び物性に関する研究

パルスバイアスプラズマプロセシングによるDLC薄膜の生成及び物性に関する研究

Call No. (NDL): UT51-2002-G878
Bibliographic ID of National Diet Library: 000003538648

Material type: 博士論文

Author: 中森秀樹 [著]

Publisher: [中森秀樹]

Publication date: [2002]

Material Format: Paper

Capacity, size, etc.: 1冊

Name of awarding university/degree: 日本大学,博士 (理学)

Notes on use

Note (General)：: 博士論文

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type: 博士論文
Title: パルスバイアスプラズマプロセシングによるDLC薄膜の生成及び物性に関する研究
Title Transcription: パルスバイアスプラズマプロセシングニヨル DLC ハクマクノセイセイオヨビブッセイニカンスルケンキュウ
Author/Editor: 中森秀樹 [著]
Author Heading: 中森, 秀樹ナカモリ, ヒデキ
Publication, Distribution, etc.: [中森秀樹]
Publication Date: [2002]
Publication Date (W3CDTF): 2002
Extent: 1冊
Degree grantor/type: 日本大学
Date Granted: 平成14年3月25日
Date Granted (W3CDTF): 2002
Dissertation Number: 甲第3047号
Degree Type: 博士 (理学)
Note (Dissertation): 博士論文
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
NDLC: UT51
Note (General): 博士論文
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: UT51-2002-G878
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000003538648
http://id.ndl.go.jp/bib/000003538648
Bibliographic Record Category (NDL): 213