博士論文

CZ(Czochralski)-シリコン単結晶中に形成される欠陥-OSF核及びその他の欠陥-の結晶成長時における挙動

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CZ(Czochralski)-シリコン単結晶中に形成される欠陥-OSF核及びその他の欠陥-の結晶成長時における挙動

Call No. (NDL)
UT51-2002-M248
Bibliographic ID of National Diet Library
000003543161
Material type
博士論文
Author
原田和浩 [著]
Publisher
[原田和浩]
Publication date
[2001]
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
1冊
Name of awarding university/degree
東北大学,博士 (工学)
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博士論文

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Paper

Material Type
博士論文
Title Transcription
CZ Czochralski シリコン タンケッショウチュウ ニ ケイセイサレル ケッカン OSFカク オヨビ ソノタ ノ ケッカン ノ ケッショウ セイチョウジ ニ オケル キョドウ
Author/Editor
原田和浩 [著]
Author Heading
原田, 和浩 ハラダ, カズヒロ
Publication, Distribution, etc.
Publication Date
[2001]
Publication Date (W3CDTF)
2001
Extent
1冊
Degree grantor/type
東北大学