チョクラルスキー法で育成したシリコン結晶中の成長時導入欠陥に関する研究

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Material Type: 博士論文
Title: チョクラルスキー法で育成したシリコン結晶中の成長時導入欠陥に関する研究
Title Transcription: チョクラルスキーホウデイクセイシタシリコンケッショウチュウノセイチョウジドウニュウケッカンニカンスルケンキュウ
Author/Editor: 中居克彦 [著]
Author Heading: 中居, 克彦ナカイ, カツヒコ
Publication, Distribution, etc.: [中居克彦]
Publication Date: 2002
Publication Date (W3CDTF): 2002
Extent: 1冊
Degree grantor/type: 東北大学
Date Granted: 平成14年3月6日
Date Granted (W3CDTF): 2002
Dissertation Number: 乙第8180号
Degree Type: 博士 (理学)
Note (Dissertation): 博士論文
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
NDLC: UT51
Note (General): 博士論文
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: UT51-2002-M874
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000003543707
http://id.ndl.go.jp/bib/000003543707
Bibliographic Record Category (NDL): 213