Study on the process of thin films formation by high density and low energy plasma at low temperature

• Material Type: 博士論文
• Title: Study on the process of thin films formation by high density and low energy plasma at low temperature
• Author/Editor: 鐘傳傑 [著]
• Author Heading: 鐘, 傳傑 ショウ, デンケツ
• Publication, Distribution, etc.: [鐘傳傑]
• Publication Date: [2002]
• Publication Date (W3CDTF): 2002
• Extent: 1冊
• Alternative Title: 高密度低エネルギープラズマを用いた低温薄膜形成技術に関する研究 コウミツド テイエネルギー プラズマ オ モチイタ テイオン ハクマク ケイセイ ギジュツ ニ カンスル ケンキュウ
• Degree grantor/type: 東北大学
• Date Granted: 平成14年3月25日
• Date Granted (W3CDTF): 2002
• Dissertation Number: 甲第8495号
• Degree Type: 博士 (工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• Text Language Code: eng
• NDLC: UT51
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-2002-M587
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000003544027; http://id.ndl.go.jp/bib/000003544027
• Bibliographic Record Category (NDL): 213