マイクロ波励起プラズマによるAl極薄膜の酸化過程と高性能強磁性トンネル接合膜への応用に関する研究

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Material Type: 博士論文
Title: マイクロ波励起プラズマによるAl極薄膜の酸化過程と高性能強磁性トンネル接合膜への応用に関する研究
Title Transcription: マイクロハレイキプラズマニヨル Al キョクハクマクノサンカカテイトコウセイノウキョウジセイトンネルセツゴウマクエノオウヨウニカンスルケンキュウ
Author/Editor: 西川和宏 [著]
Author Heading: 西川, 和宏ニシカワ, カズヒロ
Publication, Distribution, etc.: [西川和宏]
Publication Date: 2002
Publication Date (W3CDTF): 2002
Extent: 1冊
Degree grantor/type: 東北大学
Date Granted: 平成14年3月25日
Date Granted (W3CDTF): 2002
Dissertation Number: 甲第8510号
Degree Type: 博士 (工学)
Note (Dissertation): 博士論文
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
NDLC: UT51
Note (General): 博士論文
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: UT51-2002-M602
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000003544043
http://id.ndl.go.jp/bib/000003544043
Bibliographic Record Category (NDL): 213