Athermal stress release of silicon surface and the microscopic structure

• Material Type: 博士論文
• Title: Athermal stress release of silicon surface and the microscopic structure
• Author/Editor: Tetsuya Narushima [著]
• Author Heading: 成島, 哲也 ナルシマ, テツヤ
• Publication, Distribution, etc.: [Tetsuya Narushima]
• Publication Date: [2002]
• Publication Date (W3CDTF): 2002
• Extent: 1冊
• Alternative Title: シリコン表面の非熱的応力緩和とその微細構造 シリコン ヒョウメン ノ ヒネツテキ オウリョク カンワ ト ソノ ビサイ コウゾウ
• Degree grantor/type: 筑波大学
• Date Granted: 平成14年3月25日
• Date Granted (W3CDTF): 2002
• Dissertation Number: 甲第2847号
• Degree Type: 博士 (理学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• Text Language Code: eng
• NDLC: UT51
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-2002-N694
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000003544486; http://id.ndl.go.jp/bib/000003544486
• Bibliographic Record Category (NDL): 213