光散乱パターンを用いたシリコンウエハ加工表面欠陥の検出・識別に関する研究

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Material Type: 博士論文
Title: 光散乱パターンを用いたシリコンウエハ加工表面欠陥の検出・識別に関する研究
Title Transcription: ヒカリサンランパターンオモチイタシリコンウエハカコウヒョウメンケッカンノケンシュツシキベツニカンスルケンキュウ
Author/Editor: 高橋哲 [著]
Author Heading: 高橋, 哲タカハシ, サトル
Publication, Distribution, etc.: [高橋哲]
Publication Date: 2002
Publication Date (W3CDTF): 2002
Extent: 1冊
Alternative Title: Study on detection and discrimination of silicon wafer surface defects by laser scattered defect pattern
Degree grantor/type: 大阪大学
Date Granted: 平成14年7月22日
Date Granted (W3CDTF): 2002
Dissertation Number: 乙第8508号
Degree Type: 博士 (工学)
Note (Dissertation): 博士論文
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
NDLC: UT51
Note (General): 博士論文
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: UT51-2002-P69
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000003545001
http://id.ndl.go.jp/bib/000003545001
Bibliographic Record Category (NDL): 213