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Bibliographic Record
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- Material Type
- 図書
- Title Transcription
- エピタキシャル ウェーハ ノ エピソウ ライフ タイム ヒンシツ ヒョウカ ホウホウ ニ カンスル チョウサ ケンキュウ ホウコクショ
- Author/Editor
- 日本電子工業振興協会 編
- Author Heading
- 日本電子工業振興協会 ニホン デンシ コウギョウ シンコウ キョウカイ ( 00280783 )Authorities
- Publication, Distribution, etc.
- Publication Date
- 2000.3
- Publication Date (W3CDTF)
- 2000
- Extent
- 46p
- Size
- 30cm