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微細加工技術 基礎編 (ポリマーフロンティア21シリーズ ; 13)

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微細加工技術. 基礎編

(ポリマーフロンティア21シリーズ ; 13)

Call No. (NDL)
ND371-G221
Bibliographic ID of National Diet Library
000003683939
Material type
図書
Author
高分子学会 編
Publisher
エヌ・ティー・エス
Publication date
2002.9
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
192, 5p ; 27cm
NDC
549.8
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Table of Contents

  • 1 近接場光学を用いたナノフォトニクスとそのための微細加工

    東京工業大学大学院総合理工学研究科 教授 大津元一

  • 1. はじめに/ 3

  • 2. 21世紀の社会の要求/ 3

  • 3. ナノフォトニクスよる限界打破/ 5

  • 3.1 近接場光の発生と使用/ 7

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Paper

Material Type
図書
ISBN
4-86043-006-9
Title Transcription
ビサイ カコウ ギジュツ
Volume
基礎編
Author/Editor
高分子学会 編
Author Heading
高分子学会 コウブンシ ガッカイ ( 00273047 )Authorities
Publication, Distribution, etc.
Publication Date
2002.9