Study on the insulated probe method for monitoring processing plasma

• Material Type: 博士論文
• Title: Study on the insulated probe method for monitoring processing plasma
• Author/Editor: Mikio Deguchi [著]
• Author Heading: 出口, 幹雄 デグチ, ミキオ
• Publication, Distribution, etc.: [Mikio Deguchi]
• Publication Date: [2003]
• Publication Date (W3CDTF): 2003
• Extent: 1冊
• Alternative Title: プロセシングプラズマのモニタリングのための絶縁プローブ法の研究 プロセシング プラズマ ノ モニタリング ノ タメノ ゼツエン プローブホウ ノ ケンキュウ
• Degree grantor/type: 京都大学
• Date Granted: 平成15年1月23日
• Date Granted (W3CDTF): 2003
• Dissertation Number: 乙第11101号
• Degree Type: 博士 (工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• Text Language Code: eng
• NDLC: UT51
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-2003-C671
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000004094160; http://id.ndl.go.jp/bib/000004094160
• Bibliographic Record Category (NDL): 213