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イオン注入法を用いたマイクロマシン用材料・構造の作製に関する研究 : 機械システム研究部門研究報告

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イオン注入法を用いたマイクロマシン用材料・構造の作製に関する研究 : 機械システム研究部門研究報告

Call No. (NDL)
NB21-H7
Bibliographic ID of National Diet Library
000004095559
Material type
図書
Author
中野禅 [著]ほか
Publisher
産業技術総合研究所機械システム研究部門
Publication date
2003.3
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
8, 58p ; 30cm
NDC
530
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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
イオン チュウニュウホウ オ モチイタ マイクロマシンヨウ ザイリョウ コウゾウ ノ サクセイ ニ カンスル ケンキュウ : キカイ システム ケンキュウ ブモン ケンキュウ ホウコク
Author/Editor
中野禅 [著]
産業技術総合研究所機械システム研究部門 編
Author Heading
中野, 禅 ナカノ, シズカ ( 00912336 )Authorities
産業技術総合研究所 サンギョウ ギジュツ ソウゴウ ケンキュウジョ ( 00873736 )Authorities
Publication Date
2003.3
Publication Date (W3CDTF)
2003
Extent
8, 58p
Size
30cm