ハイアスペクト比マイクロ部品用形状測定技術の開発

ハイアスペクト比マイクロ部品用形状測定技術の開発

Call No. (NDL): UT51-2003-D288
Bibliographic ID of National Diet Library: 000004107526

Material type: 博士論文

Author: 山本正樹 [著]

Publisher: [山本正樹]

Publication date: 2001

Material Format: Paper

Capacity, size, etc.: 1冊

Name of awarding university/degree: 東京大学,博士 (工学)

Notes on use

Note (General)：: 博士論文

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type: 博士論文
Title: ハイアスペクト比マイクロ部品用形状測定技術の開発
Title Transcription: ハイアスペクトヒマイクロブヒンヨウケイジョウソクテイギジュツノカイハツ
Author/Editor: 山本正樹 [著]
Author Heading: 山本, 正樹ヤマモト, マサキ
Publication, Distribution, etc.: [山本正樹]
Publication Date: 2001
Publication Date (W3CDTF): 2001
Extent: 1冊
Degree grantor/type: 東京大学
Date Granted: 平成14年3月14日
Date Granted (W3CDTF): 2002
Dissertation Number: 乙第15305号
Degree Type: 博士 (工学)
Note (Dissertation): 博士論文
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
NDLC: UT51
Note (General): 博士論文
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: UT51-2003-D288
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000004107526
http://id.ndl.go.jp/bib/000004107526
Bibliographic Record Category (NDL): 213