反応性ECRスパッタリング装置の開発と光触媒性酸化チタン薄膜の作製に関する研究

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Material Type: 博士論文
Title: 反応性ECRスパッタリング装置の開発と光触媒性酸化チタン薄膜の作製に関する研究
Title Transcription: ハンノウセイ ECR スパッタリングソウチノカイハツトヒカリショクバイセイサンカチタンハクマクノサクセイニカンスルケンキュウ
Author/Editor: 本保栄治 [著]
Author Heading: 本保, 栄治ホンボ, エイジ
Publication, Distribution, etc.: [本保栄治]
Publication Date: 2003
Publication Date (W3CDTF): 2003
Extent: 1冊
Degree grantor/type: 富山県立大学
Date Granted: 平成15年3月24日
Date Granted (W3CDTF): 2003
Dissertation Number: 甲第25号
Degree Type: 博士 (工学)
Note (Dissertation): 博士論文
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
NDLC: UT51
Note (General): 博士論文
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: UT51-2003-E180
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000004132453
http://id.ndl.go.jp/bib/000004132453
Bibliographic Record Category (NDL): 213