低エネルギー電子ビームを用いたLSI描画システムに関する研究

低エネルギー電子ビームを用いたLSI描画システムに関する研究

Call No. (NDL): UT51-2003-E708
Bibliographic ID of National Diet Library: 000004137812

Material type: 博士論文

Author: 中杉哲郎 [著]

Publisher: [中杉哲郎]

Publication date: 2003

Material Format: Paper

Capacity, size, etc.: 1冊

Name of awarding university/degree: 大阪大学,博士 (工学)

Notes on use

Note (General)：: 博士論文

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type: 博士論文
Title: 低エネルギー電子ビームを用いたLSI描画システムに関する研究
Title Transcription: テイエネルギーデンシビームオモチイタ LSI ビョウガシステムニカンスルケンキュウ
Author/Editor: 中杉哲郎 [著]
Author Heading: 中杉, 哲郎ナカスギ, テツロウ
Publication, Distribution, etc.: [中杉哲郎]
Publication Date: 2003
Publication Date (W3CDTF): 2003
Extent: 1冊
Degree grantor/type: 大阪大学
Date Granted: 平成15年3月25日
Date Granted (W3CDTF): 2003
Dissertation Number: 甲第9255号
Degree Type: 博士 (工学)
Note (Dissertation): 博士論文
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
NDLC: UT51
Note (General): 博士論文
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: UT51-2003-E708
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000004137812
http://id.ndl.go.jp/bib/000004137812
Bibliographic Record Category (NDL): 213