Multi-objective capacity planning for semiconductor wafer fabrication

• Material Type: 博士論文
• Title: Multi-objective capacity planning for semiconductor wafer fabrication
• Author/Editor: Yoshio Iwata [著]
• Author Heading: 岩田, 義雄 イワタ, ヨシオ
• Publication, Distribution, etc.: [Yoshio Iwata]
• Publication Date: 2003
• Publication Date (W3CDTF): 2003
• Extent: 1冊
• Alternative Title: 半導体ウェハ製造のための多目的設備能力計画手法に関する研究 ハンドウタイ ウェハ セイゾウ ノ タメノ タモクテキ セツビ ノウリョク ケイカク シュホウ ニ カンスル ケンキュウ
• Degree grantor/type: 大阪大学
• Date Granted: 平成15年3月25日
• Date Granted (W3CDTF): 2003
• Dissertation Number: 甲第9294号
• Degree Type: 博士 (工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• Text Language Code: eng
• NDLC: UT51
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-2003-E747
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000004138397; http://id.ndl.go.jp/bib/000004138397
• Bibliographic Record Category (NDL): 213