博士論文

光リソグラフィにおける加工寸法の高精度化に関する研究

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光リソグラフィにおける加工寸法の高精度化に関する研究

Call No. (NDL)
UT51-2003-E800
Bibliographic ID of National Diet Library
000004139520
Material type
博士論文
Author
吉野宏 [著]
Publisher
[吉野宏]
Publication date
2002
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
1冊
Name of awarding university/degree
大阪大学,博士 (工学)
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博士論文

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Paper

Material Type
博士論文
Title Transcription
ヒカリ リソグラフィ ニ オケル カコウ スンポウ ノ コウセイドカ ニ カンスル ケンキュウ
Author/Editor
吉野宏 [著]
Author Heading
吉野, 宏 ヨシノ, ヒロシ
Publication, Distribution, etc.
Publication Date
2002
Publication Date (W3CDTF)
2002
Extent
1冊
Degree grantor/type
大阪大学