プラズマCVM(Chemical Vaporization Machining)による超精密加工に関する研究 : 超薄膜SOI(Silicon on Insulator)ウエハの製作

• Material Type: 博士論文
• Title: プラズマCVM(Chemical Vaporization Machining)による超精密加工に関する研究 : 超薄膜SOI(Silicon on Insulator)ウエハの製作
• Title Transcription: プラズマ CVM Chemical Vaporization Machining ニ ヨル チョウセイミツ カコウ ニ カンスル ケンキュウ : チョウハクマク SOI Silicon on Insulator ウエハ ノ セイサク
• Author/Editor: 佐野泰久 [著]
• Author Heading: 佐野, 泰久 サノ, ヤスヒサ
• Publication, Distribution, etc.: [佐野泰久]
• Publication Date: 2002
• Publication Date (W3CDTF): 2002
• Extent: 1冊
• Degree grantor/type: 大阪大学
• Date Granted: 平成15年1月24日
• Date Granted (W3CDTF): 2003
• Dissertation Number: 乙第8588号
• Degree Type: 博士 (工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• Text Language Code: jpn
• NDLC: UT51
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-2003-E802
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000004139526; http://id.ndl.go.jp/bib/000004139526
• Bibliographic Record Category (NDL): 213