博士論文

電子ビーム描画装置におけるビーム偏向高精度化技術の研究

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電子ビーム描画装置におけるビーム偏向高精度化技術の研究

Call No. (NDL)
UT51-2003-E876
Bibliographic ID of National Diet Library
000004140130
Material type
博士論文
Author
伊藤博之 [著]
Publisher
[伊藤博之]
Publication date
2003
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
1冊
Name of awarding university/degree
大阪大学,博士 (工学)
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博士論文

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Paper

Material Type
博士論文
Title Transcription
デンシ ビーム ビョウガ ソウチ ニ オケル ビーム ヘンコウ コウセイドカ ギジュツ ノ ケンキュウ
Author/Editor
伊藤博之 [著]
Author Heading
伊藤, 博之 イトウ, ヒロユキ
Publication, Distribution, etc.
Publication Date
2003
Publication Date (W3CDTF)
2003
Extent
1冊
Degree grantor/type
大阪大学