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Bibliographic Record
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- Material Type
- 博士論文
- Title Transcription
- ユウキ シリコン カゴウブツ オ モチイタ プラズマ CVD ニ ヨル コウブンシ キバン エノ シリカマク ケイセイ ニ カンスル ケンキュウ
- Author/Editor
- 手嶋勝弥 [著]
- Author Heading
- 手嶋, 勝弥 テシマ, カツヤ
- Publication, Distribution, etc.
- Publication Date
- 2003
- Publication Date (W3CDTF)
- 2003
- Extent
- 1冊
- Degree grantor/type
- 名古屋大学