有機シリコン化合物を用いたプラズマCVDによる高分子基板へのシリカ膜形成に関する研究

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Material Type: 博士論文
Title: 有機シリコン化合物を用いたプラズマCVDによる高分子基板へのシリカ膜形成に関する研究
Title Transcription: ユウキシリコンカゴウブツオモチイタプラズマ CVD ニヨルコウブンシキバンエノシリカマクケイセイニカンスルケンキュウ
Author/Editor: 手嶋勝弥 [著]
Author Heading: 手嶋, 勝弥テシマ, カツヤ
Publication, Distribution, etc.: [手嶋勝弥]
Publication Date: 2003
Publication Date (W3CDTF): 2003
Extent: 1冊
Degree Grantor: 名古屋大学
Date Granted: 平成15年3月25日
Date Granted (W3CDTF): 2003
Dissertation Number: 甲第5884号
Degree Type: 博士 (工学)
Note (Dissertation): 博士論文
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
NDLC: UT51
Note (General): 博士論文
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: UT51-2003-G281
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000004178385
http://id.ndl.go.jp/bib/000004178385
Bibliographic Record Category (NDL): 213