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Bibliographic Record
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- Material Type
- 博士論文
- Title
- Author/Editor
- Masashi Kato [著]
- Author Heading
- 加藤, 正史 カトウ, マサシ
- Publication, Distribution, etc.
- Publication Date
- 2002
- Publication Date (W3CDTF)
- 2002
- Extent
- 1冊
- Alternative Title
- 単結晶SiCの深い準位の評価と電気化学的手法による加工 タンケッショウ SiC ノ フカイ ジュンイ ノ ヒョウカ ト デンキ カガクテキ シュホウ ニ ヨル カコウ
- Degree grantor/type
- 名古屋工業大学