微細加工技術. 応用編

• Material Type: 図書
• ISBN: 4-86043-026-3
• Title: 微細加工技術
• Title Transcription: ビサイ カコウ ギジュツ
• Volume: 応用編
• Author/Editor: 高分子学会 編
• Series Title: ポリマーフロンティア21シリーズ ; 18
• Author Heading: 高分子学会 コウブンシ ガッカイ ( 00273047 )Authorities
• Publication, Distribution, etc.: 東京 : エヌ・ティー・エス
• Publication Date: 2003.7
• Publication Date (W3CDTF): 2003
• Extent: 208, 7p
• Size: 27cm
• Place of Publication (Country Code): JP
• Text Language Code: jpn
• Subject Heading: 半導体 ハンドウタイ ( 00562913 )Authorities; オプトエレクトロニクス オプト エレクトロニクス ( 00576721 )Authorities
• NDC 9th ed.: 549.8 : Electronic engineering
• NDLC: ND371
• Target Audience: 一般
• Price: 24400円
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: ND371-H25
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000004196486; http://id.ndl.go.jp/bib/000004196486
• National Bibliography No. (JPNO): 20436215
• Cataloging Rule: Nippon Cataloguing Rules 1987 Revised Edition
• Bibliographic Record Category (NDL): 112

• Contents: フォトニクス・エレクトロニクス・メカトロニクスへの応用(Provided by: 国立国会図書館蔵書)

Table of Contents

｢1｣ SPMを利用したナノスケールでの加工

1. はじめに/ 3

1.1 概要/ 3

1.2 研究体制/ 3

1.3 研究の背景/ 4