イオンビームスパッタリングによる酸化物薄膜形成過程のIn-Situエリプソメトリーによる研究

Notes on use

Search by Bookstore

You can check the details of this material, its authority (keywords that refer to materials on the same subject, author's name, etc.), etc.

Material Type: 博士論文
Title: イオンビームスパッタリングによる酸化物薄膜形成過程のIn-Situエリプソメトリーによる研究
Title Transcription: イオンビームスパッタリングニヨルサンカブツハクマクケイセイカテイノ In-Situ エリプソメトリーニヨルケンキュウ
Author/Editor: 金子哲治 [著]
Author Heading: 金子, 哲治カネコ, テツジ
Publication, Distribution, etc.: [金子哲治]
Publication Date: [2003]
Publication Date (W3CDTF): 2003
Extent: 1冊
Degree grantor/type: 東北大学
Date Granted: 平成15年3月24日
Date Granted (W3CDTF): 2003
Dissertation Number: 甲第9129号
Degree Type: 博士 (工学)
Note (Dissertation): 博士論文
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
NDLC: UT51
Note (General): 博士論文
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: UT51-2003-K480
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000004217121
http://id.ndl.go.jp/bib/000004217121
Bibliographic Record Category (NDL): 213