熱陰極直流放電プラズマによる銅基板上への絶縁膜生成と物性評価

熱陰極直流放電プラズマによる銅基板上への絶縁膜生成と物性評価

Call No. (NDL): UT51-2003-K906
Bibliographic ID of National Diet Library: 000004220242

Material type: 博士論文

Author: 加藤達也 [著]

Publisher: [加藤達也]

Publication date: 2002

Material Format: Paper

Capacity, size, etc.: 1冊

Name of awarding university/degree: 静岡大学,博士 (工学)

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Note (General)：: 博士論文

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type: 博士論文
Title: 熱陰極直流放電プラズマによる銅基板上への絶縁膜生成と物性評価
Title Transcription: ネツインキョクチョクリュウホウデンプラズマニヨルドウキバンジョウエノゼツエンマクセイセイトブッセイヒョウカ
Author/Editor: 加藤達也 [著]
Author Heading: 加藤, 達也カトウ, タツヤ
Publication, Distribution, etc.: [加藤達也]
Publication Date: 2002
Publication Date (W3CDTF): 2002
Extent: 1冊
Degree grantor/type: 静岡大学
Date Granted: 平成15年3月23日
Date Granted (W3CDTF): 2003
Dissertation Number: 甲第326号
Degree Type: 博士 (工学)
Note (Dissertation): 博士論文
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
NDLC: UT51
Note (General): 博士論文
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: UT51-2003-K906
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000004220242
http://id.ndl.go.jp/bib/000004220242
Bibliographic Record Category (NDL): 213