Preparation of zinc oxide films containing Be and N atoms by magnetron sputtering

• Material Type: 博士論文
• Title: Preparation of zinc oxide films containing Be and N atoms by magnetron sputtering
• Author/Editor: Masahiro Sanmyo [著]
• Author Heading: 三妙, 正裕 サンミョウ, マサヒロ
• Publication, Distribution, etc.: [Masahiro Sanmyo]
• Publication Date: 2002
• Publication Date (W3CDTF): 2002
• Extent: 1冊
• Alternative Title: マグネトロンスパッタリングによるBeとN原子を含む酸化亜鉛薄膜の作成 マグネトロン スパッタリング ニ ヨル Be ト N ゲンシ オ フクム サンカ アエン ハクマク ノ サクセイ
• Degree grantor/type: 静岡大学
• Date Granted: 平成15年3月23日
• Date Granted (W3CDTF): 2003
• Dissertation Number: 甲第354号
• Degree Type: 博士 (工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• Text Language Code: eng
• NDLC: UT51
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-2003-K934
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000004220340; http://id.ndl.go.jp/bib/000004220340
• Bibliographic Record Category (NDL): 213