A study on Marangoni convection in molten silicon under oxygen partial pressure during Czochralski crystal growth

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Material Type: 博士論文
Title: A study on Marangoni convection in molten silicon under oxygen partial pressure during Czochralski crystal growth
Author/Editor: Takeshi Azami [著]
Author Heading: 莇, 丈史アザミ, タケシ
Publication, Distribution, etc.: [Takeshi Azami]
Publication Date: 2002
Publication Date (W3CDTF): 2002
Extent: 1冊
Alternative Title: チョクラルスキー結晶成長時のシリコン融液の酸素分圧下におけるマランゴニ対流に関する研究チョクラルスキーケッショウセイチョウジノシリコンユウエキノサンソブンアツカニオケルマランゴニタイリュウニカンスルケンキュウ
Degree grantor/type: 東京農工大学
Date Granted: 平成14年9月24日
Date Granted (W3CDTF): 2002
Dissertation Number: 乙第67号
Degree Type: 博士 (工学)
Note (Dissertation): 博士論文
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: eng
NDLC: UT51
Note (General): 博士論文
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: UT51-2003-L900
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000004228967
http://id.ndl.go.jp/bib/000004228967
Bibliographic Record Category (NDL): 213