マイクロマシン/MEMS技術大全 : MEMS technology outlook

• Material Type: 雑誌
• Title: マイクロマシン/MEMS技術大全 : MEMS technology outlook
• Title Transcription: マイクロマシン MEMS ギジュツ タイゼン : MEMS technology outlook
• Volume: 2008
• Series Title: Electronic journal別冊
• Author Heading: 電子ジャーナル デンシ ジャーナル ( 01045417 )Authorities
• Publication, Distribution, etc.: 東京 : 電子ジャーナル
• Year and volume of publication: 2002 - 2008
• Size: 28cm
• Place of Publication (Country Code): JP
• Text Language Code: jpn
• NDLC: ZN11
• Note (General): 本タイトル等は最新号による
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Z74-D795
• Related Material: 関連資料; https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R100000002-I000011273956
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000004265417; http://id.ndl.go.jp/bib/000004265417
• National Bibliography No. (JPNO): 01003906
• Cataloging Rule: Nippon Cataloguing Rules 1987 Revised Edition
• Bibliographic Record Category (NDL): 131

Table of Contents

CONTENTS

第1編 マイクロマシン／MEMS総論

第1章 マイクロマシン／MEMSとは?/ 20

第2章 マイクロマシン／MEMSの応用デバイス/ 22

第3章 マイクロマシン／MEMSの技術動向/ 25