半導体素子製造におけるプロセス誘起欠陥の熱処理による制御に関する研究

半導体素子製造におけるプロセス誘起欠陥の熱処理による制御に関する研究

Call No. (NDL): UT51-2003-S605
Bibliographic ID of National Diet Library: 000004278399

Material type: 博士論文

Author: 鈴木俊治 [著]

Publisher: [鈴木俊治]

Publication date: 2002

Material Format: Paper

Capacity, size, etc.: 1冊

Name of awarding university/degree: 筑波大学,博士 (工学)

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Note (General)：: 博士論文

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type: 博士論文
Title: 半導体素子製造におけるプロセス誘起欠陥の熱処理による制御に関する研究
Title Transcription: ハンドウタイソシセイゾウニオケルプロセスユウキケッカンノネツショリニヨルセイギョニカンスルケンキュウ
Author/Editor: 鈴木俊治 [著]
Author Heading: 鈴木, 俊治スズキ, トシハル
Publication, Distribution, etc.: [鈴木俊治]
Publication Date: 2002
Publication Date (W3CDTF): 2002
Extent: 1冊
Degree grantor/type: 筑波大学
Date Granted: 平成14年11月30日
Date Granted (W3CDTF): 2002
Dissertation Number: 乙第1875号
Degree Type: 博士 (工学)
Note (Dissertation): 博士論文
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
NDLC: UT51
Note (General): 博士論文
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: UT51-2003-S605
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000004278399
http://id.ndl.go.jp/bib/000004278399
Bibliographic Record Category (NDL): 213