博士論文

シリコン集積回路素子微細化のための浅い接合形成技術の研究

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シリコン集積回路素子微細化のための浅い接合形成技術の研究

Call No. (NDL)
UT51-2003-T653
Bibliographic ID of National Diet Library
000004286629
Material type
博士論文
Author
獅子口清一 [著]
Publisher
[獅子口清一]
Publication date
2003
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
1冊
Name of awarding university/degree
奈良先端科学技術大学院大学,博士 (工学)
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博士論文

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Paper

Material Type
博士論文
Title Transcription
シリコン シュウセキ カイロ ソシ ビサイカ ノ タメノ アサイ セツゴウ ケイセイ ギジュツ ノ ケンキュウ
Author/Editor
獅子口清一 [著]
Author Heading
獅子口, 清一 シシグチ, セイイチ
Publication, Distribution, etc.
Publication Date
2003
Publication Date (W3CDTF)
2003
Extent
1冊
Degree grantor/type
奈良先端科学技術大学院大学