気相・表面反応制御に基づくドライエッチング技術に関する研究

気相・表面反応制御に基づくドライエッチング技術に関する研究

Call No. (NDL): UT51-2003-U973
Bibliographic ID of National Diet Library: 000004308233

Material type: 博士論文

Author: 森川泰宏 [著]

Publisher: [森川泰宏]

Publication date: [2003]

Material Format: Paper

Capacity, size, etc.: 1冊

Name of awarding university/degree: 東京大学,博士 (工学)

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Note (General)：: 博士論文

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Paper

Material Type: 博士論文
Title: 気相・表面反応制御に基づくドライエッチング技術に関する研究
Title Transcription: キソウヒョウメンハンノウセイギョニモトズクドライエッチングギジュツニカンスルケンキュウ
Author/Editor: 森川泰宏 [著]
Author Heading: 森川, 泰宏モリカワ, ヤスヒロ
Publication, Distribution, etc.: [森川泰宏]
Publication Date: [2003]
Publication Date (W3CDTF): 2003
Extent: 1冊
Degree grantor/type: 東京大学
Date Granted: 平成15年3月12日
Date Granted (W3CDTF): 2003
Dissertation Number: 乙第15629号
Degree Type: 博士 (工学)
Note (Dissertation): 博士論文
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
NDLC: UT51
Note (General): 博士論文
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: UT51-2003-U973
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000004308233
http://id.ndl.go.jp/bib/000004308233
Bibliographic Record Category (NDL): 213