Interface control and observation of the nucleation stage in copper chemical vapor deposition for advanced metallization

• Material Type: 博士論文
• Title: Interface control and observation of the nucleation stage in copper chemical vapor deposition for advanced metallization
• Author/Editor: 金永[ソク] [著]
• Author Heading: 金, 永[ソク] キム, ヨンソク
• Publication, Distribution, etc.: [金永[ソク]]
• Publication Date: [2001]
• Publication Date (W3CDTF): 2001
• Extent: 1冊
• Alternative Title: Cu-CVD成長初期過程観察及び界面構造制御 Cu-CVD セイチョウ ショキ カテイ カンサツ オヨビ カイメン コウゾウ セイギョ
• Degree grantor/type: 東京大学
• Date Granted: 平成13年9月28日
• Date Granted (W3CDTF): 2001
• Dissertation Number: 甲第16662号
• Degree Type: 博士 (工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• Text Language Code: eng
• Alias of Author: Kim, Young Suk
• NDLC: UT51
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-2004-A149
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000004324857; http://id.ndl.go.jp/bib/000004324857
• Bibliographic Record Category (NDL): 213