Effects of hydrogen coverage on silicon thin film growth : Studied by molecular dynamics simulation

• Material Type: 博士論文
• Title: Effects of hydrogen coverage on silicon thin film growth : Studied by molecular dynamics simulation
• Author/Editor: 村松伸哉 [著]
• Author Heading: 村松, 伸哉 ムラマツ, シンヤ
• Publication, Distribution, etc.: [村松伸哉]
• Publication Date: [2002]
• Publication Date (W3CDTF): 2002
• Extent: 1冊
• Alternative Title: シリコン薄膜成長における基板表面水素被覆の効果 : 分子動力学法による解析 シリコン ハクマク セイチョウ ニ オケル キバン ヒョウメン スイソ ヒフク ノ コウカ : ブンシ ドウリキガクホウ ニ ヨル カイセキ
• Degree grantor/type: 東京大学
• Date Granted: 平成14年3月29日
• Date Granted (W3CDTF): 2002
• Dissertation Number: 甲第17120号
• Degree Type: 博士 (工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• Text Language Code: eng
• NDLC: UT51
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-2004-A607
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000004330123; http://id.ndl.go.jp/bib/000004330123
• Bibliographic Record Category (NDL): 213