Theoretical studies of the surface reactions of fluorine atoms on the silicon surface

• Material Type: 博士論文
• Title: Theoretical studies of the surface reactions of fluorine atoms on the silicon surface
• Author/Editor: 江崎尚英 [著]
• Author Heading: 江崎, 尚英 エザキ, タカヒデ
• Publication, Distribution, etc.: [江崎尚英]
• Publication Date: 2003
• Publication Date (W3CDTF): 2003
• Extent: 1冊
• Alternative Title: シリコン表面上のフッ素原子表面反応の理論的研究 シリコン ヒョウメンジョウ ノ フッソ ゲンシ ヒョウメン ハンノウ ノ リロンテキ ケンキュウ
• Degree grantor/type: 東京理科大学
• Date Granted: 平成15年3月20日
• Date Granted (W3CDTF): 2003
• Dissertation Number: 乙第725号
• Degree Type: 博士 (理学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• Text Language Code: eng
• NDLC: UT51
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-2004-B578
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000004360402; http://id.ndl.go.jp/bib/000004360402
• Bibliographic Record Category (NDL): 213