[Compte rendu] : A.V.I. SEM 71. (Le Vide ; v. 26, no. 152. Supplément)

[Compte rendu] : A.V.I. SEM 71.

(Le Vide ; v. 26, no. 152. Supplément)

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Material Type: 図書
Title: [Compte rendu] : A.V.I. SEM 71.
Series Title: Le Vide ; v. 26, no. 152. Supplément
Author Heading: Société française des ingénieurs et techniciens du vide.
Colloque international sur les applications des techniques du vide à l'industrie des semiconducteurs, des composants électroniques et de la microélectronique (3rd : 1971 : Versailles)
Publication, Distribution, etc.: Paris : [Société française des ingénieurs et techniciens du vide
Publication Date: 1971]
Publication Date (W3CDTF): 1971
Extent: 466 p. 27 cm.
Alternative Title: A.V.I. SEM 71.
Place of Publication (Country Code): FR
Text Language Code: fre
Subject Heading: Semiconductors -- Congresses.
Vacuum technology -- Congresses.
NDLC: ND371
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: ND371-53
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000006158441
http://id.ndl.go.jp/bib/000006158441
Bibliographic Record Category (NDL): 211