図書

機能性薄膜の界面接合プロセスおよびその評価

Icons representing 図書

機能性薄膜の界面接合プロセスおよびその評価

Call No. (NDL)
Y151-H01420042
Bibliographic ID of National Diet Library
000006973706
Material type
図書
Author
仲田, 周次, 大阪大学
Publisher
-
Publication date
1989-1991
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
View All

Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

Search by Bookstore

Bibliographic Record

You can check the details of this material, its authority (keywords that refer to materials on the same subject, author's name, etc.), etc.

Paper

Material Type
図書
Title Transcription
キノウセイ ハクマク ノ カイメン セツゴウ プロセス オヨビ ソノ ヒョウカ
Author/Editor
仲田, 周次, 大阪大学
Author Heading
仲田, 周次 ナカタ, シユウジ
Publication Date
1989-1991
Publication Date (W3CDTF)
1989
Extent
Additional Title
研究種目 一般研究(A)
Subject Heading
界面接合プロセス カイメンセツゴウプロセス
薄膜形成 ハクマクケイセイ
ダイヤモンド薄膜 ダイヤモンドハクマク
電子照射形CVD法 デンシシヨウシヤケイCVDホウ
STM STM
STS STS
マイクロ接合 マイクロセツゴウ
薄膜付着性評価法 ハクマクフチヤクセイヒヨウカホウ