シリコン固相エピタキシヤル成長の基礎的研究

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Material Type: 図書
Title: シリコン固相エピタキシヤル成長の基礎的研究
Title Transcription: シリコンコソウエピタキシヤルセイチョウノキソテキケンキュウ
Author/Editor: 徳山, 巍, 筑波大学
Author Heading: 徳山, 巍トクヤマ, タカシ
Publication Date: 1989-1990
Publication Date (W3CDTF): 1989
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目一般研究(B)
Subject Heading: 非晶質シリコンヒシヨウシツシリコン
固相成長コソウセイチヨウ
構造緩和コウゾウカンワ
ラマン散乱スペクトルラマンサンランスペクトル
シミユレーシヨンシミユレーシヨン
イオン注入イオンチユウニユウ
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 01460070
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H01460070
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000006973968
http://id.ndl.go.jp/bib/000006973968
Bibliographic Record Category (NDL): 214