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図書

薄膜作製における基板表面制御に関する研究

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薄膜作製における基板表面制御に関する研究

Call No. (NDL)
Y151-H01460090
Bibliographic ID of National Diet Library
000006973987
Material type
図書
Author
森, 勇藏, 大阪大学
Publisher
-
Publication date
1989-1990
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
ハクマク サクセイ ニ オケル キバン ヒョウメン セイギョ ニ カンスル ケンキュウ
Author/Editor
森, 勇藏, 大阪大学
Author Heading
森, 勇藏 モリ, ユウゾウ
Publication Date
1989-1990
Publication Date (W3CDTF)
1989
Extent
Additional Title
研究種目 一般研究(B)
Subject Heading
LMIS LMIS
イオン注入 イオンチユウニユウ
エピタキシー エピタキシー
超薄膜 チヨウハクマク