スピンコーテイングにおける薄液膜形成過程

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Material Type: 図書
Title: スピンコーテイングにおける薄液膜形成過程
Title Transcription: スピンコーテイングニオケルハクエキマクケイセイカテイ
Author/Editor: 松本, 洋一郎, 東京大学
Author Heading: 松本, 洋一郎マツモト, ヨウイチロウ
Publication Date: 1989-1990
Publication Date (W3CDTF): 1989
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目一般研究(B)
Subject Heading: 液膜流れエキマクナガレ
回転円盤カイテンエンバン
回転塗布法カイテントフホウ
薄膜形成ハクマクケイセイ
熱物質移動ネツブツシツイドウ
相変化ソウヘンカ
厚さ計測アツサケイソク
数値解析スウチカイセキ
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 01460110
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H01460110
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000006974006
http://id.ndl.go.jp/bib/000006974006
Bibliographic Record Category (NDL): 214