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高分子スパツタ膜と金属との付着性に関する研究

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高分子スパツタ膜と金属との付着性に関する研究

Call No. (NDL)
Y151-H01550056
Bibliographic ID of National Diet Library
000006975182
Material type
図書
Author
山田, 良穂, 金沢大学
Publisher
-
Publication date
1989-1990
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
コウブンシ スパツタマク ト キンゾク ト ノ フチャクセイ ニ カンスル ケンキュウ
Author/Editor
山田, 良穂, 金沢大学
Author Heading
山田, 良穂 ヤマダ, ヨシノリ
Publication Date
1989-1990
Publication Date (W3CDTF)
1989
Extent
Additional Title
研究種目 一般研究(C)
Subject Heading
高分子薄膜 コウブンシハクマク
RFスパツタリング RFスパツタリング
AE信号 AEシンゴウ
ESCA ESCA
引っかき試験 ヒツカキシケン
摩擦耐久性 マサツタイキユウセイ
引っ張り法 ヒツパリホウ
付着強度 フチヤクキヨウド