半導体ウエーハの表面再結合速度の非接触評価技術開発に関する研究

• Material Type: 図書
• Title: 半導体ウエーハの表面再結合速度の非接触評価技術開発に関する研究
• Title Transcription: ハンドウタイ ウエーハ ノ ヒョウメン サイケツゴウ ソクド ノ ヒセッショク ヒョウカ ギジュツ カイハツ ニ カンスル ケンキュウ
• Author/Editor: 宇佐美, 晶, 名古屋工業大学
• Author Heading: 宇佐美, 晶 ウサミ, アキラ
• Publication Date: 1989-1990
• Publication Date (W3CDTF): 1989
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 一般研究(C)
• Subject Heading: 集収マイクロ波系 シユウシユウマイクロハケイ; 表面汚染パターン検出 ヒヨウメンオセンパターンケンシユツ; 残留有機溶済パターン ザンリユウユウキヨウズミパターン; 残留レジストパターン検出 ザンリユウレジストパターンケンシユツ; SRM1信号 SRM1シンゴウ; インピーダンス不整合 インピーダンスフセイゴウ; BRM1 BRM1
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 01550246
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H01550246
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000006975283; http://id.ndl.go.jp/bib/000006975283
• Bibliographic Record Category (NDL): 214