高性能透明導電膜の水蒸気雰囲気低温製膜

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Material Type: 図書
Title: 高性能透明導電膜の水蒸気雰囲気低温製膜
Title Transcription: コウセイノウトウメイドウデンマクノスイジョウキフンイキテイオンセイマク
Author/Editor: 澤田, 豊, 東京工芸大学
Author Heading: 澤田, 豊, 1952- サワダ, ユタカ, 1952- ( 00728384 )Authorities
Publication Date: 1989-1991
Publication Date (W3CDTF): 1989
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目一般研究(C)
Subject Heading: 透明導電膜トウメイドウデンマク
低温製膜テイオンセイマク
低抵抗テイテイコウ
スパツタリングスパツタリング
水蒸気スイジヨウキ
酸化インジウムサンカインジウム
ITO膜 ITOマク
ターゲツトターゲツト
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 01550253
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H01550253
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000006975288
http://id.ndl.go.jp/bib/000006975288
Bibliographic Record Category (NDL): 214