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図書

酸化物イオンレジストによる極微細加工技術の開発と応用

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酸化物イオンレジストによる極微細加工技術の開発と応用

Call No. (NDL)
Y151-H01550304
Bibliographic ID of National Diet Library
000006975317
Material type
図書
Author
越田, 信義, 東京農工大学
Publisher
-
Publication date
1989-1990
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
サンカブツ イオン レジスト ニ ヨル ゴクビサイ カコウ ギジュツ ノ カイハツ ト オウヨウ
Author/Editor
越田, 信義, 東京農工大学
Author Heading
越田, 信義, 1943- コシダ, ノブヨシ, 1943- ( 00191111 )Authorities
Publication Date
1989-1990
Publication Date (W3CDTF)
1989
Extent
Additional Title
研究種目 一般研究(C)
Subject Heading
微細加工 ビサイ カコウ
無機レジスト ムキ レジスト
集束イオンビーム シュウソク イオン ビーム
遷移金属酸化物 センイ キンゾク サンカブツ
アモルファス薄膜 アモルファス ハクマク
超LSIプロセス技術 チョウLSI プロセス ギジュツ
メタライゼーション メタライゼーション
高融点金属細線 コウユウテン キンゾク サイセン